Equipado com sensors EDS e EBSD da EDAX e catodoluminescência colorida da GATAN.

O EDS permite fazer análises semiquantitativas de elementos de massa atômica a partir do carbono. O EBSD é utilizado para estudos de estrutura cristalina e permite identificar tanto a estrutura quanto os defeitos cristalinos.

Esse instrumento tem a capacidade de trabalhar em 3 modos de vácuo – ambiental, baixo e alto vácuo.  Além do EDS e EBSD, o MEV possui sensores de elétrons secundários e retroespalhados. Assim ele pode gerar os 3 tipos de imagens – SEM, BSE e CL.

 

 

MEV - Quanta 450 - FEI

• 07/06/2019